海德漢4100V系列絕對(duì)式直線光柵尺技術(shù)參數(shù):
測(cè)量長(zhǎng)度:標(biāo)準(zhǔn)玻璃光柵尺測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá)3 m。如需更長(zhǎng)行程,可選配不銹鋼帶狀尺,與導(dǎo)軌型材配合安裝,測(cè)量長(zhǎng)度可擴(kuò)展至約28 m 。分辨率:最小測(cè)量步距達(dá)1 nm(0.001 µm) 。
精度等級(jí):在3 m以內(nèi)玻璃尺情況下系統(tǒng)精度典型可達(dá)±3 µm;使用低熱膨脹的微晶玻璃刻尺時(shí)精度最高可提升至約±1 µm(限長(zhǎng)度≤1.64 m) 。對(duì)于超長(zhǎng)磁帶尺方案,精度約為±5 µm/米 。
真空等級(jí):滿足高真空環(huán)境要求,可在真空度低至10^?7 mbar的環(huán)境下可靠運(yùn)行 。
溫度范圍:工作溫度 ?10 °C~+50 °C;烘烤(脫氣)溫度最高 +100 °C 。
通信接口:提供 EnDat 2.2、Fanuc 05、三菱 Mit03、松下 Pana02、安川 YEC07 等多種接口型號(hào),對(duì)應(yīng)不同數(shù)控系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)器 。
供電要求:直流 3.6 V~14 V 寬范圍供電,5 V 時(shí)典型電流約 75 mA(功耗 ~0.4 W) 。
抗振動(dòng)沖擊:可承受振動(dòng)加速度 500 m/s2(55–2000 Hz)及沖擊加速度 1000 m/s2(6 ms) 。
防護(hù)等級(jí):IP40(開放式結(jié)構(gòu),無額外密封) 。
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