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      德國(guó)海德漢HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺

      簡(jiǎn)要描述:德國(guó)海德漢HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺
      敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
      典型應(yīng)用包括:
      半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
      PCB電路板組裝機(jī)
      超高精度機(jī)床
      高精度機(jī)床
      測(cè)量機(jī)和比較儀,測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
      直驅(qū)電機(jī)

      • 產(chǎn)品型號(hào):LIC 4003
      • 廠商性質(zhì):代理商
      • 更新時(shí)間:2024-11-24
      • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1205

      詳細(xì)介紹

      品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子/電池,道路/軌道/船舶

      德國(guó)海德漢HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺

      線(xiàn)性比例尺

      集成電路4003

      測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

      線(xiàn)膨脹系數(shù)*

      玻璃陶瓷或玻璃上的冶金光柵

      αTherm?8·10–6 K–1(玻璃)

      αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax微晶玻璃)

      精度等級(jí)*

      ?1微米(僅適用于Robax玻璃陶瓷),?3微米,?5微米

      基線(xiàn)誤差

      ≤±0.275微米/10毫米

      測(cè)量長(zhǎng)度(ml)*

      在毫米

      240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440

      2640 2840 3040(Robax微晶玻璃,多1640毫升)

      質(zhì)量

      3 g+0.11 g/mm測(cè)量長(zhǎng)度

      掃描頭

      LIC 411

      LIC 419 F

      LIC 419 m

      LIC 419 P

      LIC 419 Y

      界面

      恩達(dá)2.2

      法努克

      串行接口αi

      三菱高速接口

      松下

      串行接口

      安川電氣

      串行接口

      德國(guó)海德漢HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺

      訂貨名稱(chēng)*

      EnDAT22

      FANU05

      MIT03-4

      MIT02-2

      PANA01

      YEC07

      測(cè)量步驟*

      0.01微米(10納米)

      0.005微米(5納米)

      0.001微米(1納米)1)

      計(jì)算時(shí)間tcal

      時(shí)鐘頻率

      小于5μs

      小于16兆赫

      -

      穿越速度2)

      不大于600 m/min

      插值誤差

      ±20 nm

      電氣連接*

      電纜,1米或3米,帶8針M12連接器(外螺紋)或15針D形接頭(外螺紋)

      電纜長(zhǎng)度(帶海德漢電纜)

      小于100米

      小于50米

      小于30米

      小于50米

      供電電壓

      直流3.6伏至14伏

      功耗2)(大值)

      3.6伏時(shí):≤700兆瓦

      14伏時(shí):≤800兆瓦

      3.6伏時(shí):≤850兆瓦

      14伏時(shí):≤950兆瓦

      電流消耗(典型)

      5伏時(shí):75毫安

      (無(wú)負(fù)載)

      5 V:95毫安(無(wú)負(fù)載)

      振動(dòng)55赫茲至2000赫茲

      沖擊6毫秒

      小于等于500 m/s2(EN 60068-2-6)

      小于等于1000 m/s2(EN 60068-2-27)

      工作溫度

      –10°C至70°C

      質(zhì)量掃描頭

      連接電纜

      連接元件

      不超過(guò)18克(無(wú)電纜)

      20克/米

      m12聯(lián)軸節(jié):15g;d-分接頭:32g

      *訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇

      1)三菱:測(cè)量長(zhǎng)度≤2040 mm

      安川:測(cè)量長(zhǎng)度≤1840 mm

      2)見(jiàn)海德漢編碼器手冊(cè)接口中的一般電氣信息

      Robax是德國(guó)美因茨Schott Glaswerke的注冊(cè)商標(biāo)

      詳見(jiàn):海德漢HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺

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